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光刻膠介紹
光刻膠介紹
光刻膠(又稱光致抗蝕劑),是指通過紫外光、準分子激光、電子束、離子束、x射線等光源的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻材料。光刻膠具有光化學(xué)敏感性,其經(jīng)過曝光、顯影、刻蝕等工藝,可以將設(shè)計好的微細圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移到待加工基片。就拿在國際上具有一定競爭實力的京東方來說,目前已建立17個面板顯示生產(chǎn)基地,其中,有16個已經(jīng)投產(chǎn)。因此光刻膠微細加工技術(shù)中的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細圖形線路的加工制作。生產(chǎn)光刻膠的原料包括光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹脂、單體和其他助劑等。
光刻膠
北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負膠的設(shè)計適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。A可以考慮使用Futurrex,正型光阻PR1,負型光阻用NR1&NR7,它們都可以耐高溫180度,完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。當(dāng)顯影后NR9-3000PY顯示出負的側(cè)壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢:
市場規(guī)模
中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定增長,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移。據(jù)WSTS和SIA統(tǒng)計數(shù)據(jù),2016年中國半導(dǎo)體市場規(guī)模為1659.0億美元,增速達9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。2016年中國半導(dǎo)體制造用光刻膠市場規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場規(guī)模為20.24億元。預(yù)計2017和2018年半導(dǎo)體制造用光刻膠市場規(guī)模將分別達到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規(guī)模將分別達到22.64億元和29.36億元。政策扶持為促進我國光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,國家02重大專項給予了大力支持。在28nm生產(chǎn)線產(chǎn)能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導(dǎo)體應(yīng)用廣泛,需求增長持續(xù)性強。近些年來,全球半導(dǎo)體廠商在中國大陸投設(shè)多家工廠,如臺積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導(dǎo)體工廠的設(shè)立,也拉動了國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠市場需求增長。