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真空設(shè)備檢漏
設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便,檢測(cè)迅速等特點(diǎn),是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測(cè)量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿?。?dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí),超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱:科儀創(chuàng)新)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊(cè)資金500萬(wàn)。科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備;基于其在處理環(huán)境中背景氫氣濃度方面所擁有的獨(dú)特技術(shù),氫氣檢漏儀具有非??煽康拿舾卸群蜏y(cè)量指示。超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。
如何選擇檢漏方式,與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系,盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓,則用正壓模式,如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓,則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式,即正壓模式和負(fù)壓模式。至少要在10-3mbar以下,空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流,質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過程如下:
在抽真空方式下,待檢漏的器件通過測(cè)試端口與檢漏儀相連,
待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待測(cè)器件容積較大,則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率)。這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如果需要得到精que的漏率數(shù)值,則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài),