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真空泵正確組合
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,水環(huán)式真空泵供應(yīng)商,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對有一定的抽速,兩者組合起來,水環(huán)式真空泵公司,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
真空泵干泵
國外干泵市場的不斷增長,水環(huán)式真空泵,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,水環(huán)式真空泵廠家,抽速從20m3/h~500m3/h。
真空泵羅茨真空泵
羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?,須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi),有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的主泵,需要用前級泵輔助。如:水環(huán)式真空泵,滑閥真空泵,立式無油真空泵,分子真空泵等。國內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。
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