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只是放置在現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)臺(tái)和架臺(tái)上就能確保光學(xué)實(shí)驗(yàn)用的空間的簡單類型。也可以組裝在大型機(jī)器內(nèi)部試用。
在HSB系列中采用了有實(shí)績的薄型鋼蜂窩平臺(tái)的帶架臺(tái)的平臺(tái)。
在HSB系列中有實(shí)績的薄型鋼蜂窩平臺(tái)上追加了焊接結(jié)構(gòu)的架臺(tái),實(shí)現(xiàn)了低成本、高剛性。
概要?特點(diǎn)
蜂窩狀厚50mm的鋼蜂窩狀光學(xué)平臺(tái)HSB系列安裝了焊接臺(tái)架。作為簡易的光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)自不必說,作為各種精密機(jī)器的搭載臺(tái)是合適的。
在平臺(tái)上面用25mm矩陣加工M6攻絲孔。也可以向位置進(jìn)行攻絲加工。
平臺(tái)上表面材質(zhì):SUS430磁性不銹鋼
※也可以對(duì)應(yīng)貫通孔等特別的規(guī)格。請(qǐng)咨詢其他可制作的尺寸和規(guī)格。
6自由度主動(dòng)控制的臺(tái)式除振系統(tǒng)。
經(jīng)常監(jiān)視搭載板的振動(dòng),通過內(nèi)置的致動(dòng)器施加反相位的力來控制振動(dòng)。
用3維(6自由度)控制。
概要?特點(diǎn)
6自由度主動(dòng)控制
經(jīng)常監(jiān)視搭載板的振動(dòng),通過內(nèi)置的致動(dòng)器施加反相位的力來控制振動(dòng)。
用3維(6自由度)控制。
自動(dòng)活動(dòng)調(diào)整和自動(dòng)校平
主動(dòng)控制中不可缺少的增益調(diào)整由明立精機(jī)的控制系統(tǒng)自動(dòng)優(yōu)化。
不受搭載物左右的除振性能
通過重新審視裝置構(gòu)造,除振臺(tái),即使是小型SPM這樣的輕量搭載物也不會(huì)降低除振性能。
臺(tái)式主動(dòng)減振系統(tǒng)
根據(jù)在長期的歷史和交付實(shí)績中培育了的除振技術(shù)被開發(fā)了的ME40系列更新為ME系列。緊湊的身體集中6自由度主動(dòng)除振機(jī)構(gòu),AP-330MKH除振臺(tái),提供用以前的被動(dòng)式不能實(shí)現(xiàn)的振動(dòng)環(huán)境。近年來,MKB-1500除振臺(tái),特別是在進(jìn)步驚人的納米技術(shù)領(lǐng)域,是限度地發(fā)揮高精度、高分辨率的精密機(jī)器性能的合作伙伴。
概要?特點(diǎn)
6自由度主動(dòng)控制
經(jīng)常監(jiān)視搭載盤及設(shè)置面的振動(dòng),通過內(nèi)置的致動(dòng)器施加反相位的力來控制振動(dòng)。用3維(6自由度)控制。
自動(dòng)活動(dòng)調(diào)整和自動(dòng)校平
主動(dòng)控制中不可缺少的增益調(diào)整由明立精機(jī)的控制系統(tǒng)自動(dòng)優(yōu)化。
輕量裝載物也能對(duì)應(yīng)
通過重新審視裝置構(gòu)造,小型SPM等輕量的搭載物也可以使用。
僅電源工作
使用所需的實(shí)用程序電源。不需要壓縮機(jī)等空氣源。不選擇安裝場所、使用環(huán)境。
應(yīng)用程序
掃描探針顯微鏡(SPM)、聚焦激光顯微鏡、干涉儀系統(tǒng)、三維形狀測(cè)量機(jī)、激光位移儀系統(tǒng)、其他精密測(cè)量及精密加工機(jī)。
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