三維形貌測量儀是目前國內(nèi)外追捧使用的非接觸式測量設(shè)備,其采用國
l際先進的外插式多頻相移技術(shù)、相位測量技術(shù)和計算機視覺技術(shù),其測量過程是:成功標(biāo)定設(shè)備后,將光柵投影裝置投影到被測物上,同時兩個成一定角度的攝像機同步采集光柵投射后的被測物,然后再軟件里面對圖像進行解
l碼和相位解包裹計算,并根據(jù)立體匹配技術(shù)和三角測量技術(shù),解算出攝像機公共視區(qū)內(nèi)像素點的三維坐標(biāo)
一、三維表面形貌儀測量原理:低相干白光同時照射樣品和參考平面,被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收,由于探測器直接與信號處理芯片(Smart Pixel技術(shù))連接,所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大,背景信號補償和結(jié)果計算輸出,成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。 二、三維表面形貌儀技術(shù)特點: 1、每秒一百萬張二維圖像 2、無損表面形貌檢測和分析 3、高精度在線/離線檢測 4、模塊化設(shè)計,超高集成靈活性 5、無需苛刻的工作環(huán)境(振動,噪聲,溫度等) 6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域
三維表面形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域: 工業(yè): 食品安全在線檢測 微電子集成電路表面形貌在線檢測 印刷電路板品質(zhì)檢測 零件器件表面劃痕損傷檢測 微機械精加工質(zhì)量控制,如鐘表,微機械器件等 電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控,如手機,筆記本電腦,平板等 微流體器件三維形貌檢測 在線檢測設(shè)備集成 證件防偽,安檢 科研: MEMS器件 微機械零件表面形貌觀察和測量 微光學(xué)器件(太赫茲、紅外、微波、天線陣列)三維形貌表征 生命科學(xué):生物組織/生物體的 三維形貌測量 偵
l查取證:表面劃痕觀察,微小證據(jù)三維形貌快速表征