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集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環(huán)境下,而化學機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。常用凈化車間門的洞口寬度,雙扇內凈化車間門多在1800mm以下,雙扇外凈化車間門多在2100mm以下。另外,集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。
云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調設備安裝專業(yè)公司。
凈化車間空調機組相結合的空調系統(tǒng)是一個重要的空氣處理設備,用戶必須嚴格按照暖通空調設備施工安裝規(guī)范,為了使機組能夠正常運行使用,嚴禁安裝在灰塵、腐蝕性氣體、濕度大的地方。在安裝之前需要對安裝機組的基礎進行檢查,提供的鋼支座或混凝土基礎必須要有足夠的強度和剛度,能足以承受機組運行時的所有重量和振動。潔凈工程規(guī)范設計概算辦法,確立設計概算須經過工程標準定額造價管理站和建行等個面審定,以確定的投資限額作為取費基數,這樣可去除人為擴大設計規(guī)模與冒算的費用。
隨著我國國民經濟的發(fā)展、社會的進步和人民生活水平的提高,潔凈室已廣泛應用于電子、生物制藥、精密儀器制造等各行各業(yè)中,由于潔凈室在溫度、相對濕度及潔凈度方面的巨大優(yōu)勢,它的重要性也越來越多地被人們所認識和接受。潔凈室如何預防火災事故的發(fā)生,我們認為關鍵是要把好建筑防火設計這道源頭關,以杜絕先天的火災隱患的產生。為了凈化空調系統(tǒng)的節(jié)能,我們應該從系統(tǒng)運行過程中消耗大量能源的項目入手。