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擴散硅壓力傳感器
擴散硅壓力變送器采用具有技術進口陶瓷傳感器,再配以高精密電子元件,經嚴格要求的工藝過程裝配而成。壓力變送器與使用的常規(guī)壓力變送器相比,有兩個顯著不同的技術差別:一是測量元件采用新興的高精密陶瓷材料;二是測量元件內無中介液體,是完全固體的。
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擴散硅壓力傳感器的溫漂是怎么產生的?
溫漂:是指受溫度影響而引起的零點不穩(wěn)定。
擴散硅壓力傳感器的溫漂主要來源于兩個方面:
一方面是零部件本身的溫漂;
第二方面是傳感器在膨脹過程中產生的應力,傳感器的核心器件是壓力芯片,壓力芯片本身對溫度就比較敏感,會隨著溫度的變化產生一定的漂移量;另外在封裝過程中,傳感器需要充灌硅油,以便把力從壓力膜片,傳導到壓力芯片上,硅油在溫度變化中,產生熱脹冷縮,從而產生一定的應力,這個應力作用到壓力芯片上,造成傳感器的漂移;還有就是壓力芯片,他是用膠和傳感器底座連接在一起的,由于壓力芯片和傳感器底座是兩種不同的材料,膨脹系數不一樣,所以在溫度變化中兩種不同膨脹系數的材料之間也會產生一定的應力,從而產生一定的溫漂,這些是擴散硅壓力傳感器溫漂的主要來源。
為在一定程度上減少壓力傳感器的溫漂,技術人員在設計壓力傳感器的過程中,要盡量減少充油芯體相及的體積,以減少充油的量,在粘接壓力芯片的過程中,盡量選用合適的膠,以減少粘結產生的應力,傳感器底座材料的選擇,要考慮和壓力芯片,膨脹系數相近的材料,從而減少溫漂的產生。