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如何控制無塵潔凈室的溫度濕度？

濕度過高發(fā)生的問題更多，相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。4、潔凈廠房門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應采取可靠的密封措施。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經(jīng)過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學吸附在外表耐難以鏟除由于加工精度越來越精密，所以對溫度波動規(guī)模的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱脹大系數(shù)的差要求越來越小。

 潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到 人的舒適度感。分設空調(diào)凈化系統(tǒng)潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)應根據(jù)不同的潔凈度等級分設。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。凈化工程的一般施工程序：首1次粉塵作業(yè)，無塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進行無塵操作。

 排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。對β-內(nèi)酰胺類、避孕藥品、類、強毒微生物及抗腫1瘤藥品、放1射品等的工作室，應設置空調(diào)凈化系統(tǒng)，其排風口應安裝過濾設備，以將這些的污染降至*低限度。要說凈化工程在發(fā)展的前景方面，形勢還是非常好的，市場需求更是一片大好。因為我們國家的制藥、電子信息等行業(yè)都在迅速發(fā)展，所以對凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國家的醫(yī)療方面的改革條文GMP-2010發(fā)布之后，既推動了生物醫(yī)藥和食品化工行業(yè)的發(fā)展，也間接的推動了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關(guān)方面的政策支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機遇推到了極1致。壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。