高純氦氣生產(chǎn)基地「新樺氣體」

?氫能的特點(diǎn)

氫能的特點(diǎn)

質(zhì)子交換膜燃料電池理想的燃料為純氫。氫能具有以下三方面的特點(diǎn)：

其一，氫能是理想的清潔能源之一。氫氣燃燒時(shí)所得產(chǎn)物是水，不產(chǎn)生任何污染環(huán)境的物

質(zhì)。

其二，氫能可再生，是一種二次能源。自然界不存在純氫，必須從含氫的物質(zhì)中制得。

其三，它是理想的能源載體。氫氣具有可儲(chǔ)、可輸?shù)男再|(zhì)，可作為一種能源儲(chǔ)存或運(yùn)輸。儲(chǔ)能可以達(dá)到合理利用能源的目的。各種間歇性生產(chǎn)能源的過程及廉價(jià)能源、電力谷峰差暫多余能源，均可轉(zhuǎn)化為氫能儲(chǔ)存或運(yùn)輸。此種儲(chǔ)存能源方式具有分散儲(chǔ)存及較長時(shí)間的儲(chǔ)存特性。氫能亦可進(jìn)行大規(guī)模運(yùn)輸。

隨著我國工業(yè)的發(fā)展和改革開放的不斷深入，主要跨國氣體公司都紛紛進(jìn)入中國，美國空氣化工、法國液化空氣、德國林德、普萊克斯、日本大陽日酸、日商巖谷氣體公司等已占領(lǐng)我國部分特氣市場，尤其是電子氣體市場，合資和獨(dú)資的半導(dǎo)體集成電路企業(yè)生產(chǎn)工藝中所使用的電子氣體被這些國外氣體公司所壟斷，這與半導(dǎo)體集成電路對(duì)氣體質(zhì)量、供應(yīng)的特殊要求有關(guān)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體的分類

在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中的半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，需要使用到很多高純氣體，這是普通氣體的提純，具體可以分為以下幾類：

特種氣體：sih4、ph3、b2h6、a8h3、cl、hcl、cf4、nh3、pocl3、sih2cl2、sihcl3、nh3、bcl3、sif4、clf3、co、c2f6、n2o、f2、hf、hbr、sf6等,以及它們與氮、氬、氫、氦的混合氣體等，若以上述半導(dǎo)體使用時(shí)危險(xiǎn)性的分類,可分為:

一、可燃、自燃、可燃?xì)怏w,在空氣等助燃?xì)怏w中點(diǎn)火就會(huì)燃燒,可燃、氣體都有一定的火燃燒范圍,此范圍越大的氣體則危險(xiǎn)越高,屬于此類氣體如:h2、nh3、sif4、ph3、2h6、clf3、sih2cl2、sihcl3等；