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因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣:其主要來源于化學(xué)清洗工作站,清洗晶片時所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體,故必須經(jīng)過水洗中和處理,再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
排氣:其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時所產(chǎn)生,需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后,再由風(fēng)機(jī)排入大氣。
組裝時應(yīng)盡量調(diào)整風(fēng)道的中心度和水平度,避免風(fēng)管扭曲或上下起波,左右擺龍,每段風(fēng)道不宜超過10m.組裝時,墊片應(yīng)墊平,法蘭螺栓應(yīng)均勻擰緊,螺母帽均朝向同一方向。
風(fēng)管就位:風(fēng)管就位前應(yīng)檢查全部支架的水乎度和標(biāo)高、檢查支架的牢固程度,風(fēng)管就位可采用直接和吊具兩種方法。對風(fēng)管斷面較小,又位置較低的可采用人工就位方法,只需搭設(shè)簡易腳手架即可。當(dāng)風(fēng)管斷面較大且管段較長時,可采用滑輪、倒鏈、大繩等方法吊裝。
風(fēng)機(jī)安裝時按設(shè)計(jì)要求或施工規(guī)范要求設(shè)置減振裝置。風(fēng)機(jī)、螺旋風(fēng)管相連接采用軟管連接,風(fēng)機(jī)吸入口處的軟管安裝要做到松緊適度,避免因軟接過松減小進(jìn)出風(fēng)口面積,而引起噪聲和振動。螺旋風(fēng)管機(jī)械的漏風(fēng)量測試螺旋風(fēng)管安裝完畢,需進(jìn)行漏風(fēng)量測試,依據(jù)規(guī)范規(guī)定,螺旋風(fēng)管的漏風(fēng)量檢測采用漏光法定性和漏風(fēng)量測試定量檢測相結(jié)合的方式,漏光法適合于中、低壓系統(tǒng)的嚴(yán)密性檢驗(yàn);漏風(fēng)量測試適合于中壓系統(tǒng)的抽檢和高壓系統(tǒng)的悉數(shù)檢測。