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靜電式凈化
工作原理:采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下,產(chǎn)生電暈放電,電暈層中產(chǎn)生大量的負離子,負離子在靜電場的作用下,不斷地向陽極運動。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。當空氣中粉塵通過電場時,粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷,帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用,向陽極(集塵極)運動,到達陽極后釋放電荷。
缺點:可去除飄塵(不能去除有毒氣體),效能比機械式低、慢,而且易產(chǎn)生臭氧,此機型被美國市場評為差凈化器。
化學式甲醛清除劑
工作原理:是采用化學物質(zhì)和甲醛進行化學反應(yīng),達到清除甲醛的目的1、化學反應(yīng)類:與甲醛發(fā)生化學反應(yīng)生成二氧化碳和水,如氨水等;2、生物類:由能與甲醛反應(yīng)的生物制劑制成,如尿素、大豆蛋白、氨基酸等;對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。3、植物類:由植物提取物制成,如蘆薈、茶葉提取物等;4、封閉類:由成膜物質(zhì)制成,形成一層薄膜阻止甲醛釋放,如幾丁聚糖、液體石蠟等缺點:一,化學反應(yīng)過后生成的物質(zhì)很可能帶來二次污染. 實踐過程中常常出現(xiàn)二次檢測超標的現(xiàn)象二是是在不改變化學成分的基礎(chǔ)上吸收甲醛,降低空氣中的甲醛含量,但是這樣的方式治標不治本,甲醛容易再次釋放出來。
復合式(Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩停虼瞬贿m合用來表示單向流。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。