鍍金真空電鍍機(jī)廠家價格 至成鍍膜機(jī)量身訂制

現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)膜厚測量及監(jiān)控方法

涂層的鍍膜機(jī)控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法，該儀器可以直接驅(qū)動的蒸發(fā)源，通過PID控制回路傳動擋板，使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的，鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。

此外，雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定，但溫度高，它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中，鍍膜機(jī)很難避免傳感器為敏感的區(qū)域，導(dǎo)致薄膜的重大錯誤。光學(xué)監(jiān)測是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式，鍍膜機(jī)這是因?yàn)樗軠?zhǔn)確控制膜的厚度(如果使用得當(dāng))。

精度的提高，由于許多因素，但根本的原因是光學(xué)厚度的監(jiān)測。optimalswa-i-05單一波長的光學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)，是間接控制，鍍膜機(jī)先進(jìn)的光學(xué)監(jiān)測軟件結(jié)合王博士的發(fā)展，有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法，提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設(shè)備正常工作時,主開關(guān)電路中的開關(guān)管處于飽和導(dǎo)通狀態(tài),管壓降保持在100V左右,柵極得到正偏壓50V,高壓指示6kV(或10kV)。從檢測電路R21上得到的電壓控制信號不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于截止?fàn)顟B(tài),而BG11、BG12、BG13處于導(dǎo)通狀態(tài),由BG11輸出一個2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10得到2.5V的電壓控制信號而處于導(dǎo)通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開關(guān)管通過D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時BG7、BG8也處于導(dǎo)通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,提供主開關(guān)管柵極恒定的電流。由于BG10處于導(dǎo)通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號UR2的控制。當(dāng)UR2<UD2時,輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。

在真空鍍膜設(shè)備不正常情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現(xiàn)高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預(yù)定值,主開關(guān)管處于截止?fàn)顟B(tài),承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測電路R21取得的過流信號,使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于導(dǎo)通狀態(tài),C13通過BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號而截止,BG9立刻導(dǎo)通,550V正端通過BG9接到主開關(guān)管的陰極,負(fù)端通過D5管接到主開關(guān)管的柵極,主開關(guān)管得到-550V偏壓而進(jìn)入深度截止,此時高壓就沒有指示了。

磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線系統(tǒng)設(shè)計系統(tǒng)設(shè)計的特點(diǎn)

1、生產(chǎn)線采用PLC全過程控制，并配有彩色顯示屏，顯示鍍膜工藝過程參數(shù)等；

2、實(shí)時動畫形式顯示監(jiān)控磁控鍍膜生產(chǎn)線的工藝流程。磁控鍍膜生產(chǎn)線的設(shè)備是密封的，生產(chǎn)時看不見玻璃在真空室里面的運(yùn)行情況，通過通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)形象的動畫功能來實(shí)時反應(yīng)玻璃在密封真空室里的運(yùn)行情況，讓現(xiàn)場操作工對整個生產(chǎn)流程了若指掌。

3、系統(tǒng)功能豐富：包括手/自動模式選擇、工藝方案選擇、數(shù)據(jù)檢測記錄、故障報警記錄、自動診斷保護(hù)、操作權(quán)限限定等等。系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)圖上位監(jiān)控系統(tǒng)采用的是通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)，其與下位控制系統(tǒng)的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通訊方式。LG變頻器及真空泵、抽氣閥等都是由三菱FX2N-PLC來控制，而PLC通過一個擴(kuò)展的232BD模塊與計算機(jī)相連。軟件系統(tǒng)完成的主要功能

1、以實(shí)時動畫形式監(jiān)控磁控鍍膜生產(chǎn)線的工藝流程，監(jiān)控電機(jī)、真空泵、抽氣閥等部件的運(yùn)行狀態(tài)；

2、記錄設(shè)備運(yùn)行過程中產(chǎn)生的實(shí)時報警信息；

3、PLC輸入、輸出點(diǎn)實(shí)時監(jiān)控?？偨Y(jié)該系統(tǒng)現(xiàn)場運(yùn)行情況良好，數(shù)據(jù)讀寫速率快，報警功能、設(shè)備動作控制等各項(xiàng)功能均達(dá)到設(shè)計要求，且快速、準(zhǔn)確無誤，主畫面上的動畫過程與現(xiàn)場的生產(chǎn)流程配合較好，使用該系統(tǒng)可以非常方便的監(jiān)控整條生產(chǎn)線的運(yùn)行。“操作簡單，畫面精美，軟件與設(shè)備的通訊性能優(yōu)越，大大提升系統(tǒng)形象”通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)軟件突出性能給予的評價。