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真空鍍膜的膜層厚度如何測(cè)量?
在使用真空鍍膜機(jī)鍍膜之后,為了需要可能會(huì)要測(cè)量膜層的厚度,測(cè)量膜層的厚度用什么方法呢?
直接的鍍膜控制方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源,通過(guò)PID控制循環(huán)驅(qū)動(dòng)擋板,保持蒸發(fā)速率。
只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可以控制整個(gè)的鍍膜過(guò)程。但是(QCM)的精準(zhǔn)度是有限的,部分原因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。
此外雖然QCM在較低溫度下非常穩(wěn)定,但溫度較高時(shí),它會(huì)變得對(duì)溫度非常敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過(guò)程中,很難阻止傳感器跌入這個(gè)敏感區(qū)域,從而對(duì)膜層造成重大誤差。
光學(xué)監(jiān)控是高精密鍍膜的的優(yōu)選監(jiān)控方式,這是因?yàn)樗梢愿珳?zhǔn)地控制膜層厚度(如果運(yùn)用得當(dāng))。
精準(zhǔn)度的改進(jìn)源于很多因素,但根本的原因是對(duì)光學(xué)厚度的監(jiān)控。
PACVD硬質(zhì)涂層真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)的特點(diǎn):
(1)2個(gè)等離子激發(fā)源(射頻,直/直流脈沖)(2)安裝在兩邊的2閉合場(chǎng)非平衡磁控管濺射(3)帶有一個(gè)前門(mén)的六角形真空室,保證一個(gè)潔凈的環(huán)境(4)干式真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝在一個(gè)單獨(dú)的空間,處理高吞吐量的碳?xì)浠衔锖推渌に嚉怏w(5)基材和導(dǎo)電與非導(dǎo)電涂層及組合原位清洗的離子激發(fā)系統(tǒng)(6)可選擇的等離子體激發(fā)模式和頻率使等離子的密度和能量適應(yīng)基材增壓特性,以小壓強(qiáng)進(jìn)行電離作用(8)單獨(dú)的PACVD工藝中不強(qiáng)制轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候,一種行星式轉(zhuǎn)動(dòng)也能夠使濺射涂層統(tǒng)一沉積(9)特別是在PACVD過(guò)程特殊設(shè)計(jì)的進(jìn)氣系統(tǒng)能夠優(yōu)化涂層的均勻性和清潔度(10)泵的選擇編排和上下的蒸汽壓力調(diào)節(jié),保證了涂層系統(tǒng)的高可靠性(11)iFIX基礎(chǔ)的控制系統(tǒng),易于批次、配方和報(bào)警處理(12)所有數(shù)據(jù)的采集,保證良好的過(guò)程控制。工藝過(guò)程中定制曲線圖做到良好檢查方案。在批次運(yùn)行過(guò)程中,操作者也可更改或新建工藝(13)用戶可自行設(shè)置進(jìn)入控制系統(tǒng)的權(quán)限,以保證系統(tǒng)的質(zhì)量和安全性
PVD真空鍍膜機(jī)能鍍哪些物件和顏色?
我們生活離不開(kāi)炫彩靚麗的工具和物件,然后這些看起來(lái)視覺(jué)效果美觀的工具和物件,都是通過(guò)鍍了一層薄薄的膜,才能實(shí)現(xiàn)這樣的效果,大到飛機(jī)、航母,小到家庭餐具、手表,可以說(shuō)鍍膜工藝,無(wú)處不在。隨著人們的生活水平不斷的提高,對(duì)鍍膜工藝要求也就越來(lái)越高。之前鍍膜是通過(guò)傳統(tǒng)的水鍍方式來(lái)實(shí)現(xiàn)的,現(xiàn)在PVD真空鍍膜機(jī)鍍膜工藝,被更多的人認(rèn)可和追隨。有很多人很疑惑,為什么PVD真空鍍膜被那么多人認(rèn)可,它到底有什么優(yōu)勢(shì)?今天至成真空小編為大家詳細(xì)講些:
PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀(jì)七十年代末,制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。它主要是在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場(chǎng)的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。起初的時(shí)候后在高速刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國(guó)制造業(yè)的高度重視,人們?cè)陂_(kāi)發(fā)、高可靠性涂層設(shè)備的同時(shí),也在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中進(jìn)行了更加深入的涂層應(yīng)用研究。
與CVD工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時(shí)對(duì)刀具材料的抗彎強(qiáng)度無(wú)影響;薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力,更適于對(duì)硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層;PVD工藝對(duì)環(huán)境無(wú)不利影響,符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。當(dāng)前PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉸刀、絲錐、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、可轉(zhuǎn)位銑刀片、車(chē)刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
那么PVD能鍍出哪些顏色呢?據(jù)了解PVD鍍膜機(jī)鍍膜工藝目前能夠做出的膜層的顏色有深金黃色,淺金黃色,咖啡色,古銅色,灰色,黑色,灰黑色,七彩色等。在鍍膜的過(guò)程中通過(guò)調(diào)控相關(guān)參數(shù),可以控制鍍出的顏色;鍍膜結(jié)束后可以用相關(guān)的儀器對(duì)顏色值進(jìn)行測(cè)量,使顏色得以量化,以確定所鍍出的顏色是否滿足要求。