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復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;2、無塵室廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場地、停車庫、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施。 B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動,在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起,增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2。
對于穿著的潔凈服,建議每周更換一到兩次,或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個(gè)程序上的規(guī)定也不一樣。必須時(shí)刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會污染衣服。如果需要戴手套,必須使用潔凈室專用的無粉乳膠手套或者膠手套。因?yàn)橛械娜藢θ槟z中的蛋白質(zhì)過敏,如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點(diǎn),建議改用膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換,但不能在潔凈室里更換,只能在更衣室里更換手套。(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率100%時(shí),對大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套,應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來。