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無塵潔凈棚的優(yōu)勢(shì):
A.施工速度快,安裝方便
B.成本較低,維護(hù)方便
C.容易控制,F(xiàn)FU每臺(tái)自帶風(fēng)機(jī);
潔凈室的清潔程度直接關(guān)系到產(chǎn)品車間的質(zhì)量問題,所以在做潔凈室、無塵車間、凈化車間的清潔時(shí)一家要多考慮多個(gè)方面。制藥企業(yè)需要嚴(yán)密加員管理,嚴(yán)格控制人的量物流,合理布局空間與面積等以保證制藥潔凈室的潔凈度。
潔凈室中的溫濕度控制:
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。
在電子生產(chǎn)車間中,隨著人的進(jìn)進(jìn)出出,往往會(huì)帶進(jìn)很多的灰塵顆粒,而高精密度的電子元器件,對(duì)于環(huán)境的要求特別的高,生產(chǎn)出來的電子元器件的質(zhì)量往往跟空氣中的懸浮灰塵顆粒有很大關(guān)系,所以在電子生產(chǎn)車間往往都要建設(shè)為無塵車間,保證空氣中的懸浮顆粒的數(shù)量以保證電子元器件的高質(zhì)量,無塵車間設(shè)備中的負(fù)離子凈化空氣系統(tǒng)能降低空氣中的懸浮顆粒物的濃度,讓電子生產(chǎn)環(huán)境更加的干凈。