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注意事項:滅菌設(shè)備應(yīng)每日檢查一次,檢查內(nèi)容包括:
1)檢查門框與橡膠墊圈有無損壞、是否平整、門的鎖扣是否靈活、有效;
2)檢查壓力表在蒸汽排盡時是否到達(dá)零位;、
3)由柜室排氣口倒入500ml水,查有無阻塞;
4)關(guān)好門,通蒸汽檢查是否存在泄漏;
5)檢查蒸汽調(diào)節(jié)閥是否靈活、準(zhǔn)確、壓力表與溫度計所標(biāo)示的狀況是否吻合,排氣口溫度計是否完好;
6)檢查安全閥是否在蒸汽壓力達(dá)到規(guī)定的安全限度時被沖開;
7)手提式和立式壓力蒸汽滅菌器主體與頂蓋必須無裂縫和變形; 無排氣軟管或軟管銹蝕的手提式壓力蒸汽滅菌器不得使用;
8)臥式壓力蒸汽滅菌器輸入蒸汽的壓力不宜過高,夾層的溫度不能高于滅菌室的溫度;
9)預(yù)真空和脈動真空壓力蒸汽滅菌器每日進(jìn)行一次B-D(Bowie-Dick Test)測試,檢測它們的空氣排除效果。具體作法是:B-D測試包由100%脫脂純棉布折疊成長30cm±2cm、寬25cm±2cm、高25cm~28cm大小的布包裹;將專門的B-D測試紙,放入布測試包的中間;測試包的重量為4kg±5%或用一次性B-D測試包。B-D測試包水平放于滅菌柜內(nèi)滅菌車的前底層,靠近柜門與排氣口底前方;柜內(nèi) 除測試包外無任何物品; 134℃,3.5min~4min后,取出B-D測試紙觀察顏色變化,均勻一致變色,說明冷空氣排除效果良好,滅菌鍋可以使用;新壓差回油方案:集油時,高壓電磁閥關(guān)閉,壓力平衡電磁閥打開,油自蒸發(fā)器通過單向閥流至集油器。反之,則滅菌鍋有冷空氣殘留,需檢查B-D測試失敗原因,直至B-D測試通過后該鍋方能使用。
10)下排氣、預(yù)真空及脈動真空壓力蒸汽滅菌器的具體操作步驟、常規(guī)保養(yǎng)和檢查措施,應(yīng)按照廠方說明書的要求嚴(yán)格執(zhí)行。
微粒大小的量度通常以粒徑表示。但是微粒特別是灰塵粒子并不都具有球形、立方形等規(guī)則的幾何外形,因此通常所稱微粒的“粒徑”,并不是指真正球體的直徑。在氣溶膠及空氣潔凈技術(shù)中,“粒徑”的意義通常是指通過微粒內(nèi)部的某個長度因次,而并不含有規(guī)則幾何形狀的意義。在分析微粒大小的時候,“粒徑”就是指的這種含意。 具體地說,粒徑可分為兩大類: 一類是按微粒幾何性質(zhì)直接進(jìn)行測定和定義的,如顯微鏡法確定的粒徑。例如,在灰塵采樣以后,普通光學(xué)顯微鏡來觀測時,使灰塵標(biāo)本向一個方向移動通過測微尺,此時微粒投影通過這一標(biāo)尺時,為標(biāo)尺刻度線所切的兩端的長度就代表粒徑?,F(xiàn)代潔凈室技術(shù)將潔凈室設(shè)計建造、潔凈室測試與檢測、潔凈室運行三大范疇介紹,了解潔凈室內(nèi)正壓壓差控制機(jī)理,保證潔凈室高1效節(jié)能運行,是滿足現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)對潔凈室環(huán)境迫切要求。
無塵室設(shè)計及工作環(huán)境的介紹
無塵室,也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個潔凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用1大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。2、半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中,這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能,能有效防止靜電的產(chǎn)生。
無塵室的定義:空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。如何保證現(xiàn)代潔凈室內(nèi)潔凈度等級滿足生產(chǎn)工藝要求隨著現(xiàn)代工業(yè)高速發(fā)展,其產(chǎn)品技術(shù)含量更為復(fù)雜,為適應(yīng)愈來愈多的行業(yè)依賴于潔凈無塵室內(nèi)生產(chǎn)和裝配自己的產(chǎn)品,保證設(shè)備的質(zhì)量穩(wěn)定和高使用壽命。
無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間,將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經(jīng)過超過濾網(wǎng)或過濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。管腔類物品如導(dǎo)管、針和管腔內(nèi)部先用蒸餾水或去離子水潤濕,然后立即滅菌。
降低潔凈室的熱(冷)負(fù)荷的技術(shù)措施
①根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求,確定合適的潔凈室內(nèi)空氣潔凈度等級和溫度、相對濕度參數(shù),在滿足生產(chǎn)工藝的前提下,從節(jié)約能源的角度出發(fā),按不同工序房}間的不同要求確定空氣潔凈度等級、溫度、相對濕度參數(shù),可能就低時盡可能采用較低的取值。 潔凈廠房設(shè)計時,應(yīng)與業(yè)主、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)提供者充分交流,反復(fù)討論比較,合理進(jìn)行潔凈分區(qū)規(guī)劃,盡可能地減少潔凈室面積或減少高2級別類潔凈室的面積,這是降低潔凈廠房的熱(冷)負(fù)荷的有效途徑。⑤需要干燥的物品,滅菌后調(diào)整控制閥至“干燥”位置,蒸汽被抽出,柜室內(nèi)呈負(fù)壓,維持一定時間物品即達(dá)干燥要求。