潮州防水檢漏儀信賴推薦 博為光電質(zhì)量可靠

氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。 當樣品的密封面發(fā)生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。 當泄漏氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。 在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據(jù)氦氣儲氣庫位置與樣品的不同關系，氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結(jié)了這4種氦質(zhì)譜法檢漏方法的檢測原理、優(yōu)缺點和檢測標準。

得到氦質(zhì)譜檢漏器的主要性能指標。

1.較小檢漏率: 即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應清除時間: 當一定流量的勘探氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示器可以達到較大值，漏率指示器不能立即恢復到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應時間。

3.啟動時間: 氦質(zhì)譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20 Pa 時，入口閥2 關閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s[1]。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

檢漏儀內(nèi)部泄漏

定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié)，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識

從事氦質(zhì)譜檢漏儀器，自動化氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)研發(fā)、生產(chǎn)和銷售

關注他

(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；

(2)電磁閥組的超聲清洗；

(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。

檢漏儀主要配置：

1. 檢漏儀德國普發(fā)分子泵

2.優(yōu)成機械泵

3.滲氦型校準漏孔

4.美國AD放大器

5.質(zhì)譜模塊

6.液晶觸摸彩屏

7.寬電壓主控板