【廣告】
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創(chuàng)新發(fā)展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業(yè)中則處于地位。
為什么要做無塵車間?
無塵車間即無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初,在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時,潔凈廠房用設備和資料,如過濾器,潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產,雖然制作質量和某些工程指標與世界水平尚有差距,但已能滿足國內部分需求,到20世紀70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。