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真空泵的分類

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、隔膜泵、渦旋泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵、離子泵、鈦升華泵、低溫泵等，這些泵是我國國民經濟各行業(yè)應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

真空泵的特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

    簡析真空技術的應用與發(fā)展

    冶金工業(yè)：冶金工業(yè)需用到的真空技術包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應熔煉、感應殼熔煉、真空電弧重熔等。其中，真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面。這項技術主要應用于原子能工業(yè)，宇宙空間技術、海洋鉆探技術、燃氣發(fā)動機技術、汽車工業(yè)、飛機制造業(yè)、高速列車等高技術工業(yè)中，對鋼中的某些元素進行控制和處理，對鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來越高的要求。目前各種應用行業(yè)擁有現代化的真空處理設備，大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質的含量，處理水平也不斷提高。美、日、德等國已經將此項技術作為國家標準，并對其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用１００％的真空脫氣處理，完成現代化鋼鐵工業(yè)的基本要求。

　　電子與微電子工業(yè)：微電子技術要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高。這與真空技術的應用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細加工技術，其幾何圖形結構的形成、超薄層生長技術、粒子束注入技術都需要高質量、清潔的真空環(huán)境，可見其發(fā)展對真空技術、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

　　機械制造行業(yè)：這是一個帶動性強、帶動作用廣的產業(yè)，目前歐債危機的陰霾仍未散去，各國積極將機械制造產業(yè)作為提振經濟的重點。它的技術應用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統領域。真空熱處理是指將真空技術與熱處理技術緊密結合的新型熱處理技術。它對工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學熱處理的吸附和反應過程等特點。另外，它本身工藝操作靈活、無公害的特點成為行業(yè)常用的處理手段。