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脈沖激光沉積裝置廠家點擊了解更多「沈陽鵬程」

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發(fā)布時間:2021-08-14 15:05  






脈沖激光沉積簡介

脈沖激光沉積,就是將激光聚焦于靶材上一個較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發(fā)甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運動,進而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。脈沖激光沉積機制沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產、銷售脈沖激光沉積,我們?yōu)槟治鲈摦a品的以下信息。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術的應用較為廣泛,可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。

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PLD 主要選件

離子輔助沉積 (IBAD)系統(tǒng)介紹

離子輔助沉積已經成為在無規(guī)取向的基片或無定形基片上沉積雙軸結構薄膜的一種重要技術。Neocera 開發(fā)了離子輔助的PLD 系統(tǒng),該系統(tǒng)將PLD 在沉積復雜材料方面的優(yōu)勢與IBAD 能力結合在一起。

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脈沖激光沉積發(fā)展前景

由脈沖激光沉積技術的原理、特點可知,它是一種極具發(fā)展?jié)摿Φ谋∧ぶ苽浼夹g。自動化裝置:控制樣品溫度和旋轉靶臺的位置控制靶臺旋轉氣體控制速率及厚度計算(利用QCM輸出)激光束掃描(可選)激光束屏蔽控制自動泵抽和充氣差分泵抽結構RHEED分析(可選)裝載室壓強監(jiān)控(可選)。隨著輔助設備和工藝的進一步優(yōu)化,將在半導體薄膜、超晶格、超導、生物涂層等功能薄膜的制備方面發(fā)揮重要的作用;并能加快薄膜生長機理的研究和提高薄膜的應用水平,加速材料科學和凝聚態(tài)物理學的研究進程。同時也為新型薄膜的制備提供了一種行之有效的方法。

沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年脈沖激光沉積行業(yè)經驗,專注脈沖激光沉積研發(fā)定制與生產,先進的脈沖激光沉積生產設備和技術,建立了嚴格的產品生產體系,想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話?。。?



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