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鏡片在接受鍍膜前必須進(jìn)行預(yù)清洗，這種清洗要求很高，達(dá)到分子級(jí)。在清洗槽中分別放置各種清洗液，并采用超聲波加強(qiáng)清洗效果，當(dāng)鏡片清洗完后，放進(jìn)真空艙內(nèi)，在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表面。清洗是在真空艙內(nèi)，在此過程中要特別注意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡片表面。清洗是在真空艙內(nèi)鍍前進(jìn)行的，放置在真空艙內(nèi)的離子槍將轟擊鏡片的表面（例如用亞離子），完成此道清洗工序后即進(jìn)行減反射膜的鍍膜。

原來磁場(chǎng)強(qiáng)弱雖不好進(jìn)行控制，但同時(shí)工件也在同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)，且是靶材原子多次沉積此案結(jié)束鍍膜工序，在一段時(shí)間內(nèi)雖然某些部位厚，某些部位薄，但另一個(gè)時(shí)間內(nèi)，磁場(chǎng)強(qiáng)的作用下在原來薄的部位沉積上厚的，在厚的部位沉積上薄的，如此多次，整個(gè)膜層成膜后，均勻性還是比較不錯(cuò)的。

亞氣的送氣均勻性也會(huì)對(duì)膜層均勻性產(chǎn)生影響，其原理實(shí)際上和真空度差不多，因?yàn)閬啔獾倪M(jìn)入，真空室內(nèi)壓強(qiáng)會(huì)產(chǎn)生變化，均勻的壓強(qiáng)大小可以控制成磁控濺射真空鍍膜機(jī)膜厚度的均勻性。

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光學(xué)鍍膜基合金駁回的是化學(xué)藥品作為恢復(fù)劑，恢復(fù)劑在有自催化活性的催化內(nèi)中被氧化而放出電子，這種電子無(wú)法在電極內(nèi)中被加快，