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對于半導(dǎo)體設(shè)備來講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。凈化工程要求施工在鋪設(shè)塑料片或線圈表面之前,應(yīng)根據(jù)尺寸和厚度對其進行預(yù)分類。微電子技術(shù)的核心是集成電路,而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個重要標志。隨著我國人民生活水平提高,人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求,用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎,凈化工程技術(shù)已開始進入千家萬戶,進入人們的現(xiàn)代生活。
精密儀器室內(nèi)配備了很多精密儀器,所以進行實驗室設(shè)計時要讓精密儀器室遠離灰塵、煙霧、噪音和震動源。平面布置可以有以下幾種方式:外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對實驗、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高,空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴大?,F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含空氣的溫度、濕度和速度的概念,而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以至成分、氣味的概念,以適應(yīng)現(xiàn)代化的科學實驗和生產(chǎn)活動對空氣潔凈度的要求。
根據(jù)我國《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50073-2001)規(guī)定不同級別的非單向流無塵室工程、潔凈室工程、無菌室工程等送風量的計算所需的換氣次數(shù)以及無塵室工程的氣流速度/換氣次數(shù),一直是無塵室工程設(shè)計中受到關(guān)注的問題,隨著無塵室污染源的控制效果增加及末端過濾器效率的提高等,對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決。同時,當各種化學物質(zhì)混合在一起呈現(xiàn)混合狀態(tài)的時候,是很難辨別的,因此憑氣味來判斷有沒有污染或是什么污染是不準確的。