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流量控制器基本原理
通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作,將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。當氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。
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使用流量控制器害怕什么?
怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;
怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進行干燥處理;
怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。
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流量控制器
質(zhì)量流量控制器在正常工作時,流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現(xiàn)的,簡稱科氏力。舉個例子,容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅(qū)動線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時,振動管作往復周期振動,工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管,就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動,安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號,這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時,振管的主振頻率不同,據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。
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流量控制器的穩(wěn)定控制時間
由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。與推導式質(zhì)量流量儀表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計算單元等,僅有流量傳感器,組成簡單,出現(xiàn)故障概率小。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。
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