無塵室設(shè)備拆卸運(yùn)輸公司承諾守信「卓宇泰」

     復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。潔凈管道（CleanTube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。

    無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為

   ⑴ 無塵室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時(shí)：靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人軀體一般活動時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人

   ⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人

   ⑶ 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人

   ⑷ 無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14

   ⑸ 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：

   ⑹ 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人

  所以，可知無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/ min/人，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。

　 在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計(jì)算出來的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有精準(zhǔn)的控制才行。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時(shí)間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。