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機械安裝：真空泵應安裝在地面結(jié)實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。安裝原理圖⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動小。⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度，主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。）

羅茨泵與前級泵抽速之間的關(guān)系

羅茨泵的抽速與前級泵抽速之間的關(guān)系，主要取決于容積效率和羅茨泵許可的壓力差。如果容積效率低，則羅茨泵機組的有效抽速將會明顯下降。如果羅茨泵的壓力差超過許可的很大壓力差，由于壓縮功將使轉(zhuǎn)子過熱膨脹，而會被卡死。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。因為泵殼易于向周圍環(huán)境散熱，仍然是不太熱的。

羅次泵大允許壓差范圍在40-100hPa，在較高的壓力范圍（150hPa）時，允許的壓力差稍高，因為被抽氣體量多謝，改善了轉(zhuǎn)子的冷卻。由于壓差的增加，必將引起所需功率也要增加。

在羅茨泵的出口管道設置專用的氣體冷卻器，這時許可的很壓差可以增加，因為冷卻氣體的回流能保持轉(zhuǎn)子的溫度在規(guī)定的范圍內(nèi)。

在真空和高真空范圍內(nèi)，抽速比多采用10:1。在入口壓力有較大變化或前級壓力變小，則壓縮比降低，故抽速比多選擇5:1。

阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號可滿足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應用可選擇LM型，輕型或中型應用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來自半導體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計劃外停l工期，從而節(jié)約了運行成本，提高了利潤率。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。

特點：

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進口到出口的氣體溫度的線性增長各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集