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真空鍍膜技術(shù)一般分為兩大類,即物理氣相沉積(PVD)技術(shù)和化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)。物理氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下,利用各種物理方法,將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子,直接沉積到基體表面上的方法。制備硬質(zhì)反應(yīng)膜大多以物理氣相沉積方法制得,它利用某種物理過(guò)程,如物質(zhì)的熱蒸發(fā),或受到離子轟擊時(shí)物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移過(guò)程。帶鋼真空鍍膜總的來(lái)說(shuō)仍處在發(fā)展的初級(jí)階段,在帶鋼表面處理中所占份額目前還遠(yuǎn)不能與熱浸鍍、電鍍相比。
Parylene涂層,其性能可以滿足電路組件的涂層需要。這些透明的聚合物實(shí)際上是高結(jié)晶和線性的,具有優(yōu)異的介電和屏蔽性能,以及化學(xué)惰性,而且致密無(wú)。
用Parylene涂敷的集成電路硅片細(xì)引線可加固5-10倍,Parylene還能滲透到硅片下面,提高硅片的結(jié)合強(qiáng)度,提高集成電路的可靠性。
Parylene在電子產(chǎn)品領(lǐng)域的優(yōu)點(diǎn):
防鹽霧,防氧化,防潮濕三防性能優(yōu)異同時(shí)在酷熱及低溫-270攝氏度條件下均保持良好的防護(hù)特性;
極低的介電常數(shù)和超薄的厚度,高頻損耗??;
可承受常規(guī)消毒Parylene涂層被廣泛應(yīng)用于各類產(chǎn)品,如心臟起搏器、房間隔缺損封堵器.血管支架、人工耳、人工心臟、超聲波探頭、線路板,骨釘、臨時(shí)手術(shù)器械、替換型器件、引流管、腦部探針及針頭等產(chǎn)品。
在國(guó)外除了心臟起搏 器用派瑞林進(jìn)行可靠絕緣防護(hù)外,腦電極、植入式傳感器、射頻、血液分析傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子,也都有使用派瑞林。