您好,歡迎來(lái)到易龍商務(wù)網(wǎng)!
全國(guó)咨詢熱線:13869212086

杭州阿爾卡特真空泵訂做價(jià)格合理「在線咨詢」

【廣告】

發(fā)布時(shí)間:2020-11-12 06:37  






噴射真空泵:它是利用文丘里(VENTURI)效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵,適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種:① 液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。② 氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。③ 蒸汽噴射真空泵:以蒸汽作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵





阿爾卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號(hào)可滿足不同真空要求,環(huán)境清潔的工藝應(yīng)用可選擇LM型,輕型或中型應(yīng)用要求可選擇P型,H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。制作過流部件非金屬材料應(yīng)選用不與藥液發(fā)生化學(xué)反應(yīng),能與輸送介質(zhì)共存,且長(zhǎng)期工作無(wú)釋出物的材料。許多來(lái)自半導(dǎo)體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品,這一選擇使他們大大縮短了計(jì)劃外停l工期,從而節(jié)約了運(yùn)行成本,提高了利潤(rùn)率。

特點(diǎn):

處理能力可靠性高寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒精l確而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進(jìn)口到出口的氣體溫度的線性增長(zhǎng)各級(jí)采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集





旋片真空泵旋片真空泵主要由泵體(靜子)和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的旋片,有些泵旋片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi),其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2~3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),在離心力等作用下,旋片沿槽作往復(fù)滑動(dòng)并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個(gè)或幾個(gè)可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低,被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時(shí),與排氣口相通的排氣腔容積由大變小,吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮,待氣體壓力高于大氣壓力時(shí),推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng),泵便不斷抽氣。






行業(yè)推薦