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傳統(tǒng)過(guò)濾器因?yàn)樾屎蛪航祮?wèn)題,不僅自身需要頻繁更換,且要消耗大量的風(fēng)能。而恒效運(yùn)行的自動(dòng)除塵凈化系統(tǒng)由于無(wú)需自動(dòng)過(guò)濾器,機(jī)組壓力適中保持在15-20Pa,不消耗風(fēng)能。例如:一個(gè)約有1120m3空間欲做10萬(wàn)等級(jí)的無(wú)塵車間,采用新技術(shù)只要采用5.5KW主機(jī)(造的起,用得起),傳統(tǒng)模式需18KW主機(jī)。新技術(shù)可以做到不更換任何耗材三年后檢測(cè)數(shù)據(jù)等同于新機(jī)效果,開機(jī)時(shí)間持續(xù)越長(zhǎng)潔凈度越高,這是傳統(tǒng)技術(shù)無(wú)法比擬的。
無(wú)塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。
對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求:
1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
2、吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s
清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選擇和布置:對(duì)于300,000級(jí)空氣凈化處理,可以使用亞過(guò)濾器代替過(guò)濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對(duì)于凈化處理,應(yīng)使用用于初級(jí),中級(jí)和過(guò)濾器的三級(jí)過(guò)濾器;中效或空氣過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇;中效空氣過(guò)濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過(guò)濾器。