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傳統(tǒng)初中過(guò)濾的凈化方式:市場(chǎng)認(rèn)可度高,也是無(wú)塵車間凈化空氣、去除分子污染的唯1方式,且過(guò)濾器市場(chǎng)已經(jīng)形成密而細(xì)的龐大產(chǎn)業(yè)鏈。現(xiàn)在,在數(shù)個(gè)企業(yè)應(yīng)用了恒效運(yùn)行的自動(dòng)除塵凈化系統(tǒng),做到了在動(dòng)態(tài)1萬(wàn)等級(jí)潔凈度不用任何初中過(guò)濾器,同步動(dòng)態(tài)消毒,并能有效避免傳統(tǒng)方式的微生物二次污染、管道積塵、頻繁濾材更換等缺陷。因此,這兩種凈化方式不在一個(gè)技術(shù)層次上,無(wú)法比較,只能說(shuō)后者顛覆前者并取代前者,使無(wú)塵車間技術(shù)更還更快的發(fā)展。
對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言,無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備,其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格,故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品,當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí),也就是使用期已太久,快破了,不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí),也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
在設(shè)計(jì)電子潔凈室的同時(shí),要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局,所有建筑物都必須具有適當(dāng)?shù)撵`活性,整個(gè)區(qū)域的主體結(jié)構(gòu)不應(yīng)采用承載內(nèi)壁的方式。在電子潔凈室的設(shè)計(jì)中,必須通過(guò)攻擊來(lái)控制整個(gè)房間的高度。即使如此,它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設(shè)計(jì)電子清潔廠房時(shí),應(yīng)根據(jù)整個(gè)廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性進(jìn)行設(shè)置,或適合于室內(nèi)設(shè)備與裝修水平的協(xié)調(diào)。