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檢漏的重要性
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種精度很高的不停機(jī)查漏儀器,具有靈敏度高、抗干擾、不污染環(huán)境(以前的鹵素檢漏污染環(huán)境)、不危及安全生產(chǎn)(以前的燭光法不適用于氫冷發(fā)電機(jī))等優(yōu)點(diǎn)。泄漏和密封相對應(yīng),很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)
氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個(gè)檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀,是只檢測氦的質(zhì)譜儀,這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作,需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下,空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流,氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢
科技信息化不斷更新迭代的市場,氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個(gè)需求,而且對檢漏儀提出新要求的情況下,檢漏儀設(shè)備不得不更新,另一方面每個(gè)行業(yè)的不足都在進(jìn)步的過程,缺陷與不足相互補(bǔ)充,相互促進(jìn)。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形,在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面:
1.智能化:以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式,自動(dòng)檢測。
2.便捷化:這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)0點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。