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    潔凈室的劃分是以單位體積內(nèi)所含灰塵數(shù)來(lái)計(jì)算的，數(shù)目越小表示潔凈等級(jí)越高，一般每一級(jí)的劃分都有不同直徑灰塵數(shù)的要求，比如一般藥廠、汽車4s店，十萬(wàn)級(jí)或萬(wàn)級(jí)就夠了，但這對(duì)電子行業(yè)（尤其是微電子行業(yè)）僅僅是di要求，比如半導(dǎo)體行業(yè)等級(jí)要求di的測(cè)試間一般都不能高于1萬(wàn)級(jí)，但對(duì)于潔凈要求嚴(yán)格的如光刻間，基本上都是百級(jí)，甚至十級(jí)的。但要注意，由于灰塵無(wú)處不在，所以jue對(duì)的0級(jí)是不可能存在的。

在潔凈室清洗潔凈工作服過(guò)程中應(yīng)注意的事項(xiàng)如下：

1.新縫制的潔凈工作服可直接進(jìn)行洗滌，而回收穿過(guò)的潔凈工作服發(fā)現(xiàn)油污，應(yīng)仔細(xì)去除油污再進(jìn)行洗滌程序。

2.洗滌前要對(duì)擦破、損壞及搭扣等附屬品進(jìn)行檢查，對(duì)有缺陷的要修理、更換或報(bào)廢。

3.必須在比使用工作服的潔凈室的潔凈度高的潔凈室中進(jìn)行清洗、烘干、捆包。

4.濕式、干式清洗用的水要過(guò)濾，溶劑也要蒸餾之后在使用點(diǎn)上用小于0.2μm孔徑的濾膜，根據(jù)需要進(jìn)行一次以上的過(guò)濾。

5.為了除去水溶性污染物，用清水洗滌后，再用蒸餾過(guò)的溶劑進(jìn)行后的洗滌，除去油性污染物。

6.濕式洗滌用水溫度如下：聚酯布 60-70C 蕞高70C. 尼龍布 50-55C 蕞高60C.

7.在后漂洗透水時(shí)，可以用抗靜電劑以提高抗靜電特性，但選用的抗靜電劑應(yīng)與纖維結(jié)合良好，無(wú)粉塵脫落。

8.有搭扣的工作服，應(yīng)在扣合狀態(tài)下洗滌。凈化車間

9.在洗滌專用的潔凈空氣循環(huán)系統(tǒng)中進(jìn)行干燥。

潔凈室中的溫濕度控制：

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

    具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。

    濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。

如何進(jìn)入無(wú)塵潔凈室：

1、任何進(jìn)入無(wú)塵潔凈室的人，必須先進(jìn)入無(wú)塵更衣室，穿上無(wú)塵帽、無(wú)塵口罩、無(wú)塵衣、靜電防塵手套、無(wú)塵褲、無(wú)塵靴。經(jīng)過(guò)這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無(wú)塵潔凈室之外，但這才是步。

2、接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長(zhǎng)廊”，不過(guò)在這條長(zhǎng)廊中吹出來(lái)的強(qiáng)風(fēng)是沒(méi)有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上。

3、走過(guò)風(fēng)淋室后，就進(jìn)入無(wú)塵潔凈室了。如果無(wú)塵潔凈室生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過(guò)“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)潔凈室還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。