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每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應(yīng)遵循的規(guī)程,有關(guān)服裝和個人用品方面的要求,供讀者參考。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵室的優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。如果一定要戴這種戒指,就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。
若能徹底實施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
潔凈室(無塵室)內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;