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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
什么是光刻掩模板
在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu),稱為光刻掩模版。
半導(dǎo)體集成電路制作過(guò)程通常需要經(jīng)過(guò)多次光刻工藝,在半導(dǎo)體晶體表面的介質(zhì)層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導(dǎo)電層上刻蝕金屬互連圖形。光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能套準(zhǔn)的、具有特定幾何圖形的光復(fù)印掩蔽模版。
應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過(guò)干版還有包膜和超微顆粒干版,其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下,通常講的菲林即film,底片或膠片的意思,感光為微小晶體顆粒)。
如需要烤版,烤版時(shí)要注意:①首先要選好烤版膠,烤版膠不能太臟。如用固體桃膠配制,一定要用熱水溶膠,膠要徹底溶開、過(guò)濾再用。前述將電路制造在半導(dǎo)體芯片表面上的集成電路又稱薄膜(thin-film)集成電路。②把適量的烤版膠涂在版面上,用海綿將版面涂擦均勻。③烤版膠不能用干布擦拭。④版材在烘版箱中烘烤,圖像區(qū)域會(huì)均勻變色。不同的PS版,烘烤時(shí)間、溫度及終顏色會(huì)不一致,所以需通過(guò)試驗(yàn)確定烤版條件。