愛德華真空泵供貨商小型真空系統(tǒng)「在線咨詢」

真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動機(jī)理

  理論研究和試驗表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦?xí)r，真空泵轉(zhuǎn)子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦?xí)r，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠(yuǎn)大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦?xí)鹣到y(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。

  另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆?，同時局部會有溫升，因此工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

愛德華真空泵維修經(jīng)過長期工作后經(jīng)常會出現(xiàn)的問題就是漏油，關(guān)于這個問題怎么維修呢？我們要先了解出現(xiàn)故障的原因：1.真空系統(tǒng)或進(jìn)氣管路讀書或泄露

2.真空泵油被污染或變質(zhì)

3.排氣過濾器堵塞

4.進(jìn)氣過濾器或進(jìn)氣濾網(wǎng)堵塞

5.吸氣閥被污物卡死

6.進(jìn)氣或排氣管道過長或管徑太小

7.油管泄漏或損壞

8.密封圈或軸封泄漏

9.排氣閥損壞或卡死

10.葉片卡死或損壞

11.轉(zhuǎn)子和泵體的間隙不對

12.真空泵內(nèi)部零件損壞愛德華E2M80真空泵

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由全球服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。傳動軸桿上安裝有工業(yè)級滾柱軸承，可靠性極高，使用壽命和無故障工作時間也更長5。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。愛德華真空泵維修保養(yǎng)要求運(yùn)行中的維護(hù)各部件必須在潤滑油的潤滑下運(yùn)行。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

適用于鋰離子電池制造設(shè)備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動全世界的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過程中的關(guān)鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由全球服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。 油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵：

低成本干泵：

可減少維護(hù)成本并降低環(huán)境影響智能泵：

高控制功能ATEX 認(rèn)證版本：

安全操作

惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進(jìn)口真空泵配件耗材。該工藝有效去除氮、硫磺、氧和芳烴，只剩下礦物油基本成分，是真正意義上的無雜質(zhì)泵油。服務(wù)品牌：普旭（博世）、里其樂、萊寶、貝克、愛發(fā)科、愛德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進(jìn)口真空泵。