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潔凈室達(dá)到潔凈度等級(jí)要求的前提條件
1、送風(fēng)潔凈度。要保證送風(fēng)潔凈度,安裝的氣密性要好,液槽密封必須保證液槽接縫嚴(yán)密和整體框架都處于同一水平面上.負(fù)壓密封就是使過(guò)濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負(fù)壓狀態(tài).
2、氣流組織。潔凈室的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同,它要求將干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的污染,當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動(dòng)時(shí)要使空氣中的灰塵能有效的帶走.根據(jù)不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風(fēng)方式.
潔凈室是指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對(duì)環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò),在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍??諝鉂崈舳鹊燃?jí)測(cè)試空氣潔凈度等級(jí)的測(cè)試一般采用粒子計(jì)數(shù)器,采樣量應(yīng)大于1L/min。
潔凈室工藝標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí),必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項(xiàng)具體措施:
(1)對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用過(guò)濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。