OPTM設備的行業(yè)須知 蘇州大塚電子有限公司

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

彩色抗蝕劑（RGB）的薄膜厚度測量[FE - 0003]

液晶顯示器的結構通常如右圖所示。 CF在一個像素中具有RGB，并且它是非常精細的微小圖案。 在CF膜形成方法中，主流是采用應用在玻璃的整個表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑，通過光刻對其進行曝光和顯影，并且在每個RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下，如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定，將導致圖案變形和作為濾色器導致顏色變化，因此管理膜厚度值很重要。

膜厚儀如何系統(tǒng)校準?

校準的方法、種類，這是新用戶經(jīng)常會遇到的問題。系統(tǒng)校準、零點校準還有兩點校準其實都已經(jīng)在說明書上寫到了，用戶只需仔細閱讀就可以了。需要注意的是：在校準鐵基時1好是多測量幾次以防止錯誤操作;系統(tǒng)校準的樣片要按照從小到大的順序進行。如果個別標準片丟失可以找與其數(shù)值相近的樣片代替。

　膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜，其厚度遠大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今，微電子薄膜，光學薄膜，抗1氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應用，在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個非常重要的參數(shù)，直接關系到該薄膜材料能否正常工作。