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OPTM設(shè)備的行業(yè)須知 蘇州大塚電子有限公司

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發(fā)布時間:2020-11-10 09:35  

大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢!


測量示例:

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號,但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜,或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制,有必要測量這些膜厚度。



 











彩色抗蝕劑(RGB)的薄膜厚度測量[FE - 0003]

液晶顯示器的結(jié)構(gòu)通常如右圖所示。 CF在一個像素中具有RGB,并且它是非常精細(xì)的微小圖案。 在CF膜形成方法中,主流是采用應(yīng)用在玻璃的整個表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑,通過光刻對其進(jìn)行曝光和顯影,并且在每個RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下,如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定,將導(dǎo)致圖案變形和作為濾色器導(dǎo)致顏色變化,因此管理膜厚度值很重要。





膜厚儀如何系統(tǒng)校準(zhǔn)?

校準(zhǔn)的方法、種類,這是新用戶經(jīng)常會遇到的問題。系統(tǒng)校準(zhǔn)、零點校準(zhǔn)還有兩點校準(zhǔn)其實都已經(jīng)在說明書上寫到了,用戶只需仔細(xì)閱讀就可以了。需要注意的是:在校準(zhǔn)鐵基時1好是多測量幾次以防止錯誤操作;系統(tǒng)校準(zhǔn)的樣片要按照從小到大的順序進(jìn)行。如果個別標(biāo)準(zhǔn)片丟失可以找與其數(shù)值相近的樣片代替。


 膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜,其厚度遠(yuǎn)大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學(xué)薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用,在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。


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