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所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。另一方面欲達(dá)到無(wú)塵室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無(wú)法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。 無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。5m/s之速度,氣流則較均一,(21世紀(jì)80、90年代)一般無(wú)塵室,其風(fēng)速均取在0。
發(fā)菌量工作人員產(chǎn)生的污染
1)皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)
2)頭發(fā):人類的頭發(fā)(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口水:包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品。
5)人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6)人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
7)人類以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。
潔凈室(無(wú)塵室)吸塵器的主要組成:
大扒頭:當(dāng)清掃地面面積較大時(shí),使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。
小扒頭:清掃面積相對(duì)較小時(shí),小扒頭可方便快捷的掃除工作臺(tái)底部的灰塵和顆粒。
圓毛刷:工作范圍主要集中在工作臺(tái)臺(tái)面,清楚工作臺(tái)面細(xì)微的小顆粒
伸縮桿:增大清掃范圍領(lǐng)域。
軟管:機(jī)器正常工作時(shí),吸收的小顆粒,灰塵,雜物,經(jīng)過(guò)吸口有軟管傳遞到過(guò)濾系統(tǒng)。
集塵袋:潔凈室吸塵器的過(guò)濾系統(tǒng),也是為重要的環(huán)節(jié),收集人眼能分辨的小顆粒,對(duì)保護(hù)馬達(dá)和過(guò)濾器有重要作用。
電源開(kāi)關(guān):控制吸塵器的啟動(dòng)和關(guān)閉。
過(guò)濾器:過(guò)濾器是吸塵器的第四大過(guò)濾系統(tǒng),也是后一個(gè)環(huán)節(jié),過(guò)濾器能過(guò)濾0.012um的小顆粒,過(guò)濾之后的空氣達(dá)到100級(jí)以上。