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影響無塵室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,亦應(yīng)列入考慮因素。(清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示)無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內(nèi)進行,并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0。一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
工業(yè)無塵室用途——以無生命微粒的控制為對象。通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。無塵室(無塵廠房)主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多種不同行業(yè)。
生物無塵室主要控制有生命微粒與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;A、 一般生物無塵室,主要控制微生物對象的污染。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)無塵室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、 生物學(xué)安全無塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例:生物學(xué)、潔凈實驗室、物物工程(重組基因)。
若能徹底實施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。