水環(huán)式真空泵工廠優(yōu)選企業(yè)

淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。

水環(huán)式真空泵的管路連接也是比較重要的一項工作，在采用管路材質(zhì)及各類閥門時，一定要按照使用說明進行，將各管路的連接點做好有效地密封，使其能夠達到相應的范圍內(nèi)，如果出現(xiàn)泄漏等問題，應該及時將管路進行檢查，看是否是密封造成的問題，及時的將其進行修復，穩(wěn)定水環(huán)泵的運行情況。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。　　

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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：

　　半導體真空泵應用時，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。

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防止溫度過高：

　　比較容易理解這點，半導體在真空泵的應用中，有害氣體比較多，而無論是干式真空泵還是油封機械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下及有毒氣體就會容易發(fā)生危險。

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