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水環(huán)真空泵的油對(duì)極限壓力的影響較大,在結(jié)構(gòu)相同的擴(kuò)散真空機(jī)組中,真空系統(tǒng)中,被抽氣體的分壓力也會(huì)泵油的不同而變化,在添加泵油的時(shí)候要注意。
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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油、化工、電子、機(jī)械、冶金、礦山、食品、印刷等各個(gè)領(lǐng)域。
倘若我們?cè)诠艿捞幇惭b止回閥,在關(guān)閉真空泵之前關(guān)閉這個(gè)止回閥的話,泵腔的空氣就不會(huì)倒回到被抽容器了,停泵的瞬間,排氣口壓力大于進(jìn)氣口壓力,為了防止泵內(nèi)的水被壓回真空系統(tǒng),所以在進(jìn)氣口加止回閥,也叫逆止閥或單向閥。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時(shí)候,會(huì)引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí),需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍?! ?/span>
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