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在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中,濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵,可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要,但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí),就成為顆粒之間黏附的主要力量。 到目前為止,在半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性,它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的水準(zhǔn)。 實(shí)際上,相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下,光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然,改變粘性,就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。 此外,在高的相對(duì)濕度環(huán)境下,由于水分的吸收,使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可 以受到較高的相對(duì)濕度的影響;較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易,甚至不需要聚合改性劑,如六二硅氮烷(HMDS)。
濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件
濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對(duì)濕度是無(wú)塵車間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年,在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程,天津凈化工程為大家介紹一下相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括: 1、細(xì)菌生長(zhǎng); 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。
藥廠凈化車間設(shè)計(jì)及安裝過(guò)程中避免出現(xiàn)不易清潔的部位,進(jìn)行凈化裝修時(shí)要控制作業(yè)過(guò)程中的發(fā)塵量,并及時(shí)進(jìn)行清理,所有的門窗安裝與建筑裝飾、凈化空調(diào)、各種管線、照明燈具的結(jié)合部位縫隙要密封處理。
潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當(dāng)采用時(shí)宜干燥作業(yè),抹灰應(yīng)采用高等抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開(kāi)裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。
制藥工業(yè)廠房的安全防火要根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程中使用、產(chǎn)生及存儲(chǔ)的原料、中間品和成品的物理化學(xué)性質(zhì)和數(shù)量及其火災(zāi)危險(xiǎn)程度和生產(chǎn)過(guò)程的性質(zhì)等情況來(lái)確定。
對(duì)于化學(xué)合成的生產(chǎn)廠房,其建筑物應(yīng)采用一、二級(jí)耐火等級(jí);對(duì)于的結(jié)晶精制、干燥等工序以及制劑生產(chǎn)用潔凈廠房,耐火等級(jí)要求不低于二級(jí),建筑構(gòu)配件耐火性能應(yīng)與甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)等級(jí)相適宜。