聚焦離子束刻蝕機價格歡迎來電“本信息長期有效”

離子屬刻蝕機的注意事項

創(chuàng)世威納——專業(yè)離子束刻蝕機供應商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

#.在設備工作時,禁止扶、靠設備，禁止觸摸高頻電纜和線圈，以免發(fā)生意外

#.高頻電源實際使用功率不能超過較大限制#.檢查設備時，必須關機后切斷電源

#. 工作場地必須保持清潔、干燥，設備上及設備周圍不得放置無關物品，特別是易1燃、易1爆物品

#.長期停放時注意防潮，拆除電源進線，每隔3-5天開一次機，保證反應室真空以免被污 染

#.設備停機、過夜也要保持反應室真空，如停機較長時間后再進行刻蝕工藝，需先進行一次空載刻蝕，再刻蝕硅片

反應離子刻蝕的原理

在反應離子刻蝕中，氣體放電產生的等離子體中有大量化學活性的氣體離子，這些離子與材料表面相互作用導致表面原子產生化學反應，生成可揮發(fā)產物。這些揮發(fā)產物隨真空抽氣系統(tǒng)被排走。隨著材料表層的“反應-剝離-排放”的周期循環(huán)，材料被逐層刻蝕到特定深度。除了表面化學反應外，帶能量的離子轟擊材料表面也會使表面原子濺射，產生一定的刻蝕作用。所以，反應離子刻蝕包括物理和化學刻蝕兩者的結合。

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離子束刻蝕的入射角

在離子束刻蝕過程中，選擇合適的入射角可以提高刻蝕效率，這只是一個方面。另一個方面是靠合適的入射角度控制刻蝕圖形的輪廓。下圖給出了不同角度的刻蝕結果。

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離子束刻蝕機

離子束技術的應用涉及物理、化學、生物、材料和信息等許多學科的交叉領域。離子束加工在許多精密、關鍵、高附加值的加工模具

等機械零件的生產中得到了廣泛應用。一些國家用于軍事裝備的建設上，如改善蝸輪機主軸承、精密軸承、齒輪、冷凍機閥門和活塞的性能。離子注入半導體摻雜已成為超大規(guī)模集成電路微細加工的關鍵工藝，導致出現了80年代集成電路產業(yè)的騰飛。

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