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汕頭真空磁控濺射鍍膜機(jī)廠家免費(fèi)咨詢「至成真空科技」

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發(fā)布時(shí)間:2021-10-19 05:46  









真空鍍膜機(jī)冷卻配套冷水機(jī)的作用


真空鍍膜機(jī)冷卻配套冷水機(jī)的作用是維持真空鍍膜機(jī)器的溫度,使其工作達(dá)到、率控制溫度的目的。以前在沒冷水機(jī)的情況下,自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是極不穩(wěn)定的。因此,可以說冷水機(jī)是真空鍍膜設(shè)備中非常重要的配套冷卻設(shè)備,因?yàn)槔渌畽C(jī)直接關(guān)系到真空鍍膜機(jī)工作效果的好壞。

真空鍍膜機(jī)為什么要配套冷水機(jī)?

這個(gè)要從真空鍍膜工作原理查看:膜料在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜料分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無光,所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,如果真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤,結(jié)合力也很差。

冷水機(jī)設(shè)有制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng),水溫在5℃~30℃范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制,可以達(dá)到、率控制溫度的目的。其冷卻原理是:制冷系統(tǒng)將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜機(jī)進(jìn)行降溫,冷水機(jī)冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,達(dá)到冷卻的作用。



真空鍍膜設(shè)備選購要點(diǎn)分析


真空鍍膜設(shè)備選購要點(diǎn)分析如下:

1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。

2、根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備,其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

3、夾具運(yùn)轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn) 自轉(zhuǎn)方式,用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求,轉(zhuǎn)動(dòng)的速度范圍及轉(zhuǎn)動(dòng)精度:普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。

4、真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門、管道等組成。


5、根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式,如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等),真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其的測(cè)量規(guī)管,及其它測(cè)量儀器,如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。膜厚測(cè)量可選用方塊電阻測(cè)量儀,透過率計(jì)等。

6、充氣方式可選用質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì) 針閥及相應(yīng)的充氣閥門,并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。

7、根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測(cè)量。

8、根據(jù)設(shè)備使用特點(diǎn),可選擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。

9、完善的報(bào)警系統(tǒng),對(duì)真空室體、擴(kuò)散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過壓、過流等異常情況進(jìn)行聲光報(bào)警。



真空鍍膜設(shè)備的環(huán)境要求


由于真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。

我國制定的各種真空鍍膜設(shè)備的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(包括真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)條件、真空離子鍍膜設(shè)備、真空濺射鍍膜設(shè)備、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備)都對(duì)環(huán)境要求作了明確規(guī)定。只有滿足了真空鍍膜設(shè)備對(duì)環(huán)境的要求,才能使該設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn),加上正確的鍍膜工藝,方能生產(chǎn)出合格的鍍膜產(chǎn)品。



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