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真空泵,隔膜泵機(jī)械密封的安裝與使用要求
1、機(jī)械密封對機(jī)器精度的要求:(以真空泵的機(jī)械密封為例)
(1)安裝機(jī)械密封部位的軸(或軸套)的徑向跳動公差不超過0.04~0.06mm.
(2)轉(zhuǎn)子軸向竄動不超過0.3mm.
(3)密封腔體與密封端蓋結(jié)合的定位端面對軸(或軸套)表面的跳動公差不超過0.04~0.06mm.
2、密封件的確認(rèn):
(1)確認(rèn)所安裝的密封是否與要求的型號一致。
(2)安裝前要仔細(xì)地與總裝圖對照,零件數(shù)量是否齊全。
(3)采用并圈彈簧傳動的機(jī)械密封,其彈簧有左、右旋之分,須按轉(zhuǎn)軸的旋向來選擇。
真空鍍膜機(jī)的陰極電弧技術(shù)
真空鍍膜機(jī)的陰極電弧技術(shù)是利用真空環(huán)境下的弧光放電,使固體陰極靶材蒸發(fā)、離化并通過等離子體的強化作用,飛向陽極基體表面沉積成膜的技術(shù)。正因為如此,陰極電弧技術(shù)具有極高的沉積速率。
在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在基體表面,具有高能量的離子束對于提高膜基結(jié)合力和打亂膜的柱狀晶結(jié)構(gòu)是非常有利的,從而也可大幅度改善膜的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。目前,各薄膜設(shè)備制造商通過對成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來減少“液滴”的產(chǎn)生。
其中BAI1200、RCS是采用圓形平面陰極源技術(shù)和輻射加熱技術(shù),可進(jìn)行快速鍍膜生產(chǎn)。利用該工藝制備的TiAlN可增強加工工具切削刃的穩(wěn)定性,并使干切削加工成為可能。
真空鍍膜機(jī)磁流體密封組件的安裝
真空鍍膜機(jī)磁流體密封組件的安裝與使用:密封組件安裝與使用時應(yīng)注意注意被裝的密封組件與軸的同軸度要求、磁流體的注入量應(yīng)適當(dāng)、安裝前既應(yīng)對組件進(jìn)行必要的真空清洗處理、密封組件泄漏時檢查:
1、注意被裝的密封組件與軸的同軸度要求,借以保證密封間隙具有較小的偏心量。
2、磁流體的注入量應(yīng)適當(dāng),在保證各級密封間隙中具有足夠量的前提下,不可過多地注入磁流體,以防抽空時多余的磁流體進(jìn)入真空室內(nèi),污染真空室。
3、安裝前既應(yīng)對組件進(jìn)行必要的真空清洗處理,又應(yīng)注意防止乙醇等清洗劑滴入磁流體密封組件內(nèi),以免引起密封組件的失效。
4、如發(fā)現(xiàn)密封組件泄漏時應(yīng)從如下幾點進(jìn)行查找:a、磁流體是否失效;b、連接法蘭與組件內(nèi)靜密封圈是否受到損壞;c、極齒齒型是否與轉(zhuǎn)軸接觸產(chǎn)生干摩擦;d、轉(zhuǎn)軸與密封組件是否連接不當(dāng)產(chǎn)生同軸度移位;e、磁鐵是否退磁等。