微型機(jī)械在國外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學(xué)校與研究機(jī)構(gòu)的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學(xué)家在上世紀(jì)八十年代末提出'小機(jī)器、大機(jī)遇:關(guān)于新興領(lǐng)域--微動(dòng)力學(xué)的報(bào)告'的國家建議書,聲稱'由于微動(dòng)力學(xué)(微系統(tǒng))在美國的緊迫性,應(yīng)在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競爭中走在前面',建議中央財(cái)政預(yù)支費(fèi)用為五年5000萬美元,得到美國領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重視,連續(xù)大力投資,并把航空航天、信息和MEMS作為科技發(fā)展的三大重點(diǎn)。美國宇航局投資1億美元著手研制'發(fā)現(xiàn)號(hào)微型',美國國家科學(xué)會(huì)把MEMS作為一個(gè)新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助微型電子機(jī)械系統(tǒng)的研究的計(jì)劃,從1998年開始,資助MIT,加州大學(xué)等8所大學(xué)和貝爾實(shí)驗(yàn)室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā),年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。把MEMS列為關(guān)鍵技術(shù)項(xiàng)目。美國研究計(jì)劃局積極領(lǐng)導(dǎo)和支持MEMS的研究和軍事應(yīng)用,現(xiàn)已建成一條MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝線以促進(jìn)新型元件/裝置的研究與開發(fā)。美國工業(yè)主要致力于傳感器、位移傳感器、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機(jī)構(gòu)參加了微型機(jī)械系統(tǒng)的研究,如康奈爾大學(xué)、斯坦福大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校、密執(zhí)安大學(xué)、威斯康星大學(xué)、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學(xué)伯克利傳感器和執(zhí)行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬元后,建立了1115m2研究開發(fā)MEMS的超凈實(shí)驗(yàn)室。


。 手工或機(jī)械拋光 手工或機(jī)械拋光是用涂有磨膏的拋光器,在一定的壓力下,與工件表面做相對運(yùn)動(dòng),以實(shí)現(xiàn)對工件表面的光整加工。加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm,可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工。手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關(guān)。 超聲波拋光 超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動(dòng),通過磨料懸浮液對硬脆材料進(jìn)行光整加工,超聲拋光 設(shè)備簡單,操作、維修方便,工具可用較軟的材料制作,而且不需作復(fù)雜的運(yùn)動(dòng),主要用來加工硬脆材料,如不導(dǎo)電的非金屬材料,當(dāng)加工導(dǎo)電的硬質(zhì)金屬材料時(shí),生產(chǎn)率較低。

在機(jī)械加工工藝路線中,經(jīng)常有熱處理工序。熱處理工序位置的安排如下:為改善金屬的切削加工性能,如退火、正火、調(diào)質(zhì)等,一般安排在機(jī)械加工前進(jìn)行。為消除內(nèi)應(yīng)力,如時(shí)效處理、調(diào)質(zhì)處理等,一般安排在粗加工之后,精加工之前進(jìn)行。為了提高零件的機(jī)械性能,如滲碳、淬火、回火等,一般安排在機(jī)械加工之后進(jìn)行。如熱處理后有較大的變形,還須安排最終加工工序。