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發(fā)布時(shí)間:2021-10-12 07:06  







 1959年,Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎(jiǎng)獲得者)就提出了微型機(jī)械的設(shè)想。1962年一個(gè)硅微型壓力傳感器問世,其后開發(fā)出尺寸為50~500μm的齒輪、齒輪泵、氣動(dòng)渦輪及聯(lián)接件等微機(jī)械。1965年,斯坦福大學(xué)研制出硅腦電極探針,后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子直徑為60~12μm的利用硅微型靜電機(jī),顯示出利用硅微加工工藝制造小可動(dòng)結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。

日本通產(chǎn)省1991年開始啟動(dòng)一項(xiàng)為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計(jì)劃,研制兩臺(tái)樣機(jī)、進(jìn)入人體進(jìn)行診斷和微型手術(shù),另一臺(tái)用于工業(yè),對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)和原子能設(shè)備的微小裂紋實(shí)施維修。該計(jì)劃有筑波大學(xué)、東京工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)、早稻田大學(xué)和富士通研究所等幾十家單位參加。

歐洲工業(yè)發(fā)達(dá)國家也相繼對(duì)微型系統(tǒng)的研究開發(fā)進(jìn)行了重點(diǎn)投資,德國自1988年開始微加工十年計(jì)劃項(xiàng)目,其科技部于1990~1993年撥款4萬馬克支持'微系統(tǒng)計(jì)劃'研究,并把微系統(tǒng)列為本世紀(jì)初科技發(fā)展的重點(diǎn),德國首創(chuàng)的LIGA工藝,為MEMS的發(fā)展提供了新的技術(shù)手段,并已成為三維結(jié)構(gòu)制作的優(yōu)選工藝。法國1993年啟動(dòng)的7000萬法郎的'微系統(tǒng)與技術(shù)'項(xiàng)目。歐共體組成'多功能微系統(tǒng)研究網(wǎng)絡(luò)NEXUS',聯(lián)合協(xié)調(diào)46個(gè)研究所的研究。瑞士在其傳統(tǒng)的鐘表制造行業(yè)和小型精密機(jī)械工業(yè)的基礎(chǔ)上也投入了MEMS的開發(fā)工作,1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學(xué)計(jì)劃。在機(jī)械、光學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域列出8個(gè)項(xiàng)目進(jìn)行研究與開發(fā)。為了加強(qiáng)歐洲開發(fā)MEMS的力量,一些歐洲公司已組成MEMS開發(fā)集團(tuán)。


生產(chǎn)類型 生產(chǎn)類型通常分為三類

 1.單件生產(chǎn) 單個(gè)地生產(chǎn)某個(gè)零件,很少重復(fù)地生產(chǎn)。

 2.成批生產(chǎn) 成批地制造相同的零件的生產(chǎn)。

 3.大量生產(chǎn) 當(dāng)產(chǎn)品的制造數(shù)量很大,大多數(shù)工作地點(diǎn)經(jīng)常是重復(fù)進(jìn)行一種零件的某一工序的生產(chǎn)。

 擬定零件的工藝過程時(shí),由于零件的生產(chǎn)類型不同,所采用的加方法、機(jī)床設(shè)備、工夾量具、毛坯及對(duì)工人的技術(shù)要求等,都有很大的不同。


工步是在加工表面不變、加工工具不變、切削用量不變的條件下走刀又叫工作行程,是加工工具在加工表面上加工一次所完成的工步。 制定機(jī)械加工工藝過程,必須確定該工件要經(jīng)過幾道工序以及工序進(jìn)行的先后順序,僅列出主要工序名稱及其加工順序的簡略工藝過程,稱為工藝路線。工藝路線的擬定是制定工藝過程的總體布局,主要任務(wù)是選擇各個(gè)表面的加工方法,確定各個(gè)表面的加工順序,以及整個(gè)工藝過程中工序數(shù)目的多少等。工藝路線擬定須遵循一定的原則。

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