黑龍江進口氣體質量流量計分類常用解決方案「厚禮博」

什么是流量控制器？

質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器

怎樣進行不同氣體的質量流量換算？

產品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體，當流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體（氮氣）的質量流量轉換系數(shù)。

如果您使用的產品是標準出廠產品（按氮氣標定顯示），而需要知道實際使用氣體的質量流量時，先在產品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數(shù)。在測量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量；反之，在確定所購產品的量程時，以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數(shù)，即是相應的氮氣標定產品的流量值。怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作,有可能造成產品損壞和其它更嚴重的損失。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產品，不必換算。

數(shù)字化質量流量控制器內置MCU多功能微處理器, 可以對采集到的流量信號進行數(shù)字化處理, 進行溫度線性校正, 具有比模擬式產品更高的精度和線性性能。數(shù)字化的PID控制功能, 能提高穩(wěn)定性和智能化地改變響應特性。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。串行通訊, 使MFC更便于進行計算機系統(tǒng)控制。數(shù)字化智能化的MFC逐步替代全模擬的MFC, 這是技術發(fā)展的必然潮流。