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真空泵維修技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近半個(gè)世紀(jì)的歷史表明,電子學(xué)器件的發(fā)展對人類社會(huì)起了很大的推動(dòng)作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進(jìn)作用。電子管的誕生是真空科學(xué)技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細(xì)加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過程都與真空技術(shù)有關(guān)。

微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前位。在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

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真空泵維修技術(shù)方法制備有機(jī)功能薄膜的技術(shù)

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1012bit／cm2稱為超高密度信息存儲,主要是數(shù)字0和1的存儲,安是納米電子學(xué)的基礎(chǔ)。每個(gè)信息存儲點(diǎn)的尺寸小于10nm,它含有的原子數(shù)有限。作為功能點(diǎn)與傳統(tǒng)的元件相比,它的特征是體積更?。?lt;109個(gè)原子）、材料更純（雜質(zhì)缺陷<10-8）、信號功率更低（<10-12焦耳）、信號的寫入讀出的響應(yīng)速度快（<納秒）。因此，超高密度信息存儲的研究要求發(fā)展新理論、新材料和新的組裝加工技術(shù)。

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近些年北京大學(xué)和科學(xué)院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)研究有機(jī)復(fù)合薄膜的超高密度信息存儲器件，其制備的關(guān)鍵技術(shù)是納米厚度的高質(zhì)量功能薄膜。當(dāng)今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環(huán)境，故可以得到高質(zhì)量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術(shù)主要有蒸發(fā)、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團(tuán)束鍍等。

在分析了真空方法制備有機(jī)功能薄膜的幾種技術(shù)后，經(jīng)比較認(rèn)為，離子團(tuán)束（ICB）沉積技術(shù)用于制備有機(jī)功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發(fā)經(jīng)過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團(tuán)，經(jīng)歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質(zhì)量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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真空泵維修技術(shù)的保養(yǎng)小竅門

真空鍍膜產(chǎn)品長期暴露在空氣中，面對酸堿等強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)的接觸，還是難以抵擋。因此，平時(shí)保養(yǎng)維護(hù)時(shí)，盡量不選用含強(qiáng)酸強(qiáng)堿或去污能力強(qiáng)的清洗劑，如潔廁精，脫漆劑，金屬清洗劑等，可以選用工業(yè)酒精用絨布輕柔擦拭；如果表面有污垢，也要選用弱酸弱堿溶劑來處理。

此外，如果長時(shí)間暴露在惡劣環(huán)境中，或與腐蝕性液體長時(shí)間接觸，PVD膜層也容易出現(xiàn)脫落等問題，如游泳池（含氟），海水（含鹽分多），高溫高濕（蒸汽）等環(huán)境中。

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