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蝕刻機(jī)介紹
蝕刻機(jī)可以分為化學(xué)蝕刻機(jī)及電解蝕刻機(jī)兩類。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到蝕刻的目的,化學(xué)蝕刻機(jī)是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻機(jī)主要應(yīng)用于航空、機(jī)械、標(biāo)牌工業(yè)中,蝕刻機(jī)技術(shù)廣泛地被使用于減輕重量?jī)x器鑲板,銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等之加工。
蝕刻機(jī):
蝕刻機(jī)大約分為三種:
是單片蝕刻機(jī),這種蝕刻機(jī)一般只適合刀模,銅版,鋅板的蝕刻,蝕刻機(jī)噴淋是固定的,內(nèi)置一個(gè)360度轉(zhuǎn)盤,金屬板材扣于轉(zhuǎn)盤底部,通過轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)動(dòng)來使得蝕刻板表面得到一個(gè)均勻的蝕刻深度。
是單輥蝕刻機(jī),這種蝕刻機(jī)只適合做壓花輥蝕刻。常用于織造布匹,皮革等表面壓花輥表面花紋蝕刻。蝕刻為兩個(gè)寬度可調(diào)節(jié)的噴架,壓輥置于兩噴架中間,通過電機(jī)帶過壓輥的固定軸,讓蝕刻藥液噴淋于壓輥表面,從而得到一個(gè)表面平整的紋理效果。
蝕刻機(jī)就是水平噴淋式蝕刻機(jī),也是平面蝕刻產(chǎn)品中用途廣泛的蝕刻設(shè)備。也是本文要重點(diǎn)討論的。
光刻機(jī)和刻蝕機(jī)的區(qū)別:
刻蝕相對(duì)光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對(duì)晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對(duì)晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。