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光波超精密——開式花崗石氣浮導(dǎo)軌
超精機靜壓氣浮導(dǎo)軌是由高精度的靜導(dǎo)軌、動導(dǎo)軌和氣浮軸承等部件組成。高速高壓氣浮軸承在導(dǎo)軌運動時,在動靜壓導(dǎo)軌之間排放有氣浮軸承,氣體流動形成潤滑膜,使動靜壓導(dǎo)軌表面不直接接觸。氣浮導(dǎo)軌與液壓導(dǎo)軌相比,具有摩擦阻力小、不粘滯、運動精度高的特點,在超精密機床、坐標(biāo)測量機等高精密儀器設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定,氣浮壓力、外荷載不變,動導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時,由于空氣移動的粘度、動導(dǎo)軌接觸面面積為定值,靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。
光波超精密空氣導(dǎo)軌——開式花崗石氣浮導(dǎo)軌
由于氣浮軸承將氣體排入導(dǎo)軌間隙,使其粘性力大于慣性力2,隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高,導(dǎo)軌運動精度和速度也不斷提高,氣浮導(dǎo)軌明顯具有摩擦阻力小、無粘滯、運動精度高的特點,而在超精密機床、坐標(biāo)測量機等高精密儀器設(shè)備中,已廣泛應(yīng)用。
當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定,氣浮壓力、外荷載不變,動導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時,由于空氣移動的粘度、動導(dǎo)軌接觸面面積為定值,靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。進入導(dǎo)軌間隙的氣體由氣浮軸承排出,其粘性力大于慣性力2,隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高,導(dǎo)軌運動精度和運動速度也不斷提高,氣浮導(dǎo)軌的摩擦力將對超精密機床的定位精度、系統(tǒng)運動速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。對超精密機床的定位精度和運動速度進行研究,已成為當(dāng)前研究的熱點[4-6]。
獨立的具有隔、防震功能的整體加強的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)(建議的結(jié)構(gòu)形式)。
地基振幅要求:8 微米,(0~6)Hz;3 微米,(6~50)Hz;8 微米,大于 50Hz。
設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求:≤2 mm。
地基的實施結(jié)構(gòu)形式:由建筑設(shè)計人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進行設(shè)計和建造。
注意:如果您的測量設(shè)備周圍有大的震源,請根據(jù)地基圖紙準(zhǔn)備地基。震源指所有可能對地基產(chǎn)生振動的影響源,含大的加工機床,磨床,沖床,交通要道等。
光波超精密技術(shù)研究院——開式花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理,實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用,因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應(yīng)用。
直線導(dǎo)軌的精度包括:1)行走平行度(動態(tài)精度)。包括滑塊C面(上表面)相對滑軌A面(底面)的行走平行度,滑塊D面(滑塊側(cè)基準(zhǔn)面)相對滑軌B面(滑軌側(cè)基準(zhǔn)面)的行走平行度。2)幾何尺寸精度。包括高度H的尺寸容許誤差,高度H的成對相互差(△H)、寬度W2的尺寸容許誤差、寬度W2的成對相互誤差(△W2)。3、預(yù)壓等級的確定預(yù)壓力的大小決定了導(dǎo)軌的剛性大小,同時可以消除一定的滑塊徑向間隙,實驗證明預(yù)壓的效果可以提高未預(yù)壓時直線導(dǎo)軌的剛性2。8倍。PMI的直線導(dǎo)軌預(yù)壓等級分為:輕預(yù)壓(FC),中預(yù)壓(F0),重預(yù)壓(F1),超重預(yù)壓(F2)四個等級。正確的選定直線導(dǎo)軌的預(yù)壓力對設(shè)備的剛性具有很大的影響。
光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——開式花崗石氣浮導(dǎo)軌
(1)在安裝前務(wù)必清除所要安裝機械安裝面上的毛刺、打擊i傷痕及污物注:因LM滾動導(dǎo)軌上涂有防銹油,安裝前請用洗凈油將其擦拭干凈后再安裝。防銹油除掉后的基準(zhǔn)面容易生銹,推薦涂抹粘度低的主軸用潤滑油。(2)將LM軌道輕輕地放置與底座上后,不完全鎖緊裝配螺栓使LM軌道與安裝面輕輕的靠緊。(底座的橫向基準(zhǔn)面要與LM軌道有標(biāo)記線的一側(cè)對上。)請使用干凈的裝配螺栓來固定LM滾動導(dǎo)軌。同時,再將裝配螺栓插入LM軌道的安裝孔時,要事先確認螺栓孔是否吻合。如果孔不吻合而強行擰入螺栓,則會降低精度。(3)按順序?qū)M軌道的止動螺絲擰緊,使軌道與橫向安裝面緊靠。(4)使用扭矩扳手,將裝配螺栓按規(guī)定的扭矩擰緊。注:LM軌道裝配螺栓的擰緊順序是,從中央位置開始向軸端部按順序擰緊,這樣可獲得穩(wěn)定的精度。(5)其余的LM軌道也按同樣的方法安裝,直到安裝全部完成。(6)將孔蓋打入裝配螺栓孔,直到與LM軌道的頂面為同一平面為止。